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《半导体技术》 2014年12期
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稀土Dy掺杂对ZnO,CdO和SnO_2薄膜性能的影响

韩菲   李健   开通知网号
【摘要】:用热蒸发法和热处理制备稀土Dy掺杂金属氧化物CdO,ZnO和SnO2薄膜,研究不同Dy掺杂浓度及热处理对3种薄膜性能的影响。XRD和SEM测试结果显示:适当的Dy掺杂和热处理可改善薄膜的结构特性,使薄膜表面的致密性变好。CdO,ZnO和SnO2薄膜的...

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