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《半导体技术》 2014年12期
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电子辐照改善双极型开关晶体管反向击穿特性

陈祖良   岳巍   李兆龙   章月红   谢裕颖   吴华妹   开通知网号
【摘要】： 利用1.5 Me V Dynamitron电子加速器,在常温常压下通过改变电子注量和注量率等辐射参数对双极型开关晶体管晶圆芯片进行辐照处理,在厌氧条件下进行了不同温度不同气氛的退火实验,研究了不同辐照条件和退火工艺对器件击穿特性的影响,并对不同生产厂...

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