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《半导体技术》 2018年12期
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电容式硅基MEMS传声器的结构优化设计

沈国豪   张卫平   刘武   魏志方   邹逸飞   开通知网号
【摘要】：微电子机械系统(MEMS)传声器是一种将音频信号转换为电信号的微型传感器。为了得到较高灵敏度和信噪比(SNR)的传声器,同时又能保证其可靠性,设计并制备了一种结构优化的电容式硅基MEMS传声器。将两种特殊结构相结合,对电容式硅基MEMS传声器的带孔振...
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