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《微纳电子技术》 2021年12期
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基于激光切割的二自由度悬臂梁式压电能量采集器

董璇   王保志   张成功   王欢   李以贵   开通知网号
【摘要】: 为达到拓宽有效输出带宽的目的,设计了一种二自由度的锆钛酸铅(PZT)悬臂梁式压电能量采集器。通过激光切割加工悬臂梁式压电能量采集器,制备了镂空式的二自由度的PZT悬臂梁式压电能量采集器结构。利用COMSOL软件,对二自由度的PZT悬臂梁式压电能量采集...

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