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《电工技术杂志》 1992年01期
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观察原子层的电子显微镜

郭京   开通知网号
【摘要】： <正> 最近,日本电信电话公司(NTT)研制成功观察原子层的电子显微镜,可用于实时观察半导体晶体表面的结晶生长过程,属世界首创。它由卧式电子显微镜、小型分子线生长装置、高速高灵敏度增幅器及显示屏组成,其模式如图所示。其中分子线生长装置的体积仅为现有产...

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