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《Plasma Science and Technology》 2007年04期
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Deposition of SiO_x on Metal Surface with a DBD Plasma Gun at Atmospheric Pressure for Corrosion Prevention

韩尔立   陈强   张跃飞   陈飞   葛袁静   开通知网号
【摘要】: <正> In this study,SiO_x films were deposited by a dielectric barrier discharge(DBD)plasma gun at an atmospheric pressure.The ...

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