RAS在线监测AlGaAs的MOCVD生长(英文)

徐华伟张金龙宁永强曾玉刚张星开通知网号

【摘要】： 通过瞬态反射各向异性谱和瞬态反射谱在线监测和研究了AlxGa1-xAs的生长过程,利用金属有机化合物汽相淀积技术在GaAs(001)衬底上生长了多层AlxGa1-xAs结构。选择最适合在线监测生长过程的探测光能量,在此探测光能量处所得到的反射各向异性...

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