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《发光学报》 2012年12期
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新型透明导电薄膜ErF_3掺杂In_2O_3的研制

张剑楠   李颜涛   范翊   刘星元   开通知网号
【摘要】： 利用电子束沉积技术首次制备了氟化铒(ErF3)掺杂的氧化铟(In2O3)透明导电薄膜(IEFO),研究了薄膜的晶体结构、光学特性和电学特性。利用原子力显微镜测试了不同厚度薄膜的形貌,初步研究了薄膜的生长过程。研究发现:IEFO薄膜为多晶结构,Er原子...

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