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《光电子.激光》 2012年02期
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梯度掺杂生长绒面结构ZnO:B-TCO薄膜及其特性研究

闫聪博   陈新亮   耿新华   张德坤   魏长春   张晓丹   赵颖   开通知网号
【摘要】： 采用新的金属有机化学气相淀积(MOCVD)-ZnO镀膜工艺技术-梯度掺杂技术生长绒面结构。研究ZnO:B-TCO薄膜。结果表明,梯度掺杂技术可有效增加薄膜晶粒尺寸和提高光散射作用。并且,梯度掺杂技术有效地提高了薄膜在近红外区域的光学透过率,有利于应用...

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