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《光学精密工程》 2024年13期
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基于Zigzag柔性簧片的大行程XY精密运动平台

赵林峰   凌明祥   薛立伟   申浩   陈立国   开通知网号
【摘要】： 通过采用Zigzag柔性簧片作为导向机构，提出了一种具有大行程、高精度、高频响、低应力的并联式XY二自由度精密定位平台，满足精密运动的需求。提出了以Zigzag柔性簧片单元为核心导向梁的柔顺精密运动平台结构，并采用音圈电机进行驱动，实现3 mm×3 ...

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