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《红外技术》 1984年06期
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列阵红外探测器的制造方法

张维佳   开通知网号
【摘要】： <正> 本专利是关于红外摄象装置等所需的列阵红外探测器的制造方法。特别是把许多微小面积的光伏型器件以微小间隔排成列阵的红外探测器的制造方法。该方法的特点是:在具有电子导电性的InSb衬底的表面上形成薄薄的阳极氧化薄膜和厚厚的绝缘薄膜。然后,去掉阳极氧...

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