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《红外技术》 2001年01期
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Raman测量Ge/Si多层膜中Ge晶粒尺寸的理论研究

吴晓昆,杨宇,吴兴惠   开通知网号
【摘要】： 研究了用磁控溅射方法制备的Gex/Si1-x多层膜的Ge拉曼光谱 ,在分析了多层膜中Ge微晶的分布和采用微晶壳层结构假设的条件下 ,考虑了微晶表面效应的影响 ,用声子限域模型计算了Ge纳米晶粒的拉曼谱线 ,拉曼拟合谱线为三条理论谱线的叠加。计算结果表...

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