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问答
《红外技术》 2001年06期
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非致冷钛酸锶钡铁电薄膜红外探测器

唐军,程建功,褚君浩   开通知网号
【摘要】： 采用半导体微机械 (Micro Electro MechanicalSystem ,MEMS)技术制备了具有热隔离微桥的 8× 8元非致冷Ba0 .8Sr0 .2 TiO3 薄膜红外探测器列阵原型器件。热释电性能优良的Ba0 .8Sr0 .2 TiO...

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