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《红外技术》 2022年01期
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不同抛光方式下InSb晶片表面质量的对比研究

李德香   龚晓霞   张丽霞   袁俊   杨文运   开通知网号
【摘要】： 本文分别以加双氧水的化学机械抛光和未加双氧水的纯机械抛光方式对In Sb晶片进行表面处理,通过分析氧化膜的生成,以及对In Sb晶片的表面划痕、表面粗糙度和表面损伤的表征,开展了两种不同抛光方式下In Sb晶片的表面质量对比研究。结果表明,在化学机械...

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