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《红外技术》 2022年12期
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单片晶圆气液混合流清洗技术研究

刘佰红   杨炜平   梁翔   杨丽丽   杜浩楠   保加兵   石春明   马跃霞   殷艳娥   段瑜   开通知网号
【摘要】： 研究了气液混合流清洗方法对单片晶圆表面颗粒的去除效果，引入无量纲参数移径比（H/D）讨论其对单片晶圆表面颗粒去除效率的影响。此外，还讨论了冲洗时间、冲洗压力对颗粒去除效率的影响。结果表明：晶圆表面颗粒去除效率随着冲洗时间、冲洗压力的增大而提高。移径比...

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