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《红外与激光工程》 2014年05期
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一种微型化制造的双腔结构芯片原子钟~(87)Rb蒸汽腔(英文)

李绍良   徐静   张志强   吴亚明   开通知网号
【摘要】： 碱金属蒸汽腔是芯片原子钟(CSACs)中重要的核心部件之一,其微型化制造具有重要的实用价值,同时也非常具有挑战性。采用MEMS技术批量化制作了具有双腔结构的芯片原子钟87Rb蒸汽腔阵列。在阳极键合过程中,通过原位化学反应产生纯净的87Rb元素蒸汽,缓...

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