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《集成电路应用》 2004年09期
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中国半导体设备业近况

王勃华   开通知网号
【摘要】： <正> 1 2003年国内半导体设备业基本情况随着半导体设备市场的快速发展,我国从事半导体设备开发和生产的企业正在迅速增加,2003年已从2002年的40个发展为接近60个(包括兼作单位),其中主要单位20家左右。大部分单位从事前工序和后工序设备研制...

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