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《激光技术》 2024年06期
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基于SiN平板波导光栅的128通道光学相控阵

马鹏飞   于磊   王政   王鹏飞   张冶金   潘教青   开通知网号
【摘要】： 为了避免全硅光学相控阵(OPA)的输出光功率饱和现象以及氮化硅的低移相效率，采用硅与氮化硅相结合的设计思路，在实现高功率输入的同时保证了调相效率；此外，硅基集成OPA为了避免通道间的相互耦合所引起的相位噪声，波导间距大于半波长，导致栅瓣的存在，进而使...

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