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《金属热处理》 2003年01期
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工艺条件对溅射薄膜附着性的影响

张西鹏,李伟,范洪远   开通知网号
【摘要】： 溅射薄膜材料应用很广泛 ,其中薄膜的附着性是影响薄膜材料质量的重要因素 ,膜 /基界面结合强度是制约薄膜材料实际应用的关键之一。本文综述了关于溅射薄膜附着性能的研究进展 ,总结了影响附着性的主要工艺因素 ,为改善薄膜质量提供参考依据。

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