收藏本站
问答
《科技风》 2019年03期
作者本人免费下载 | 收藏 | 投稿 | 论文排版

晶圆传输机械手结构浅析

陈英男   开通知网号
【摘要】： IC制造装备是半导体工艺制程的重要载体。芯片生产过程中,用晶圆传输系统来实现晶圆在不同工位之间快速、高效、可靠的搬运。随着晶圆生产的产量和尺寸的不断增加,对晶圆传输结构的速度、精度要求也日益提高。本文主要介绍R-θ型晶圆传输机械手的典型结构、使用条件...

 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978
订卡电话 400-819-9993
在线咨询 https://help.cnki.net
京ICP证040441号
京公网安备11010802020475号
违法和不良信息举报电话：400-062-8866
举报邮箱：jubao@cnki.net
©2022中国知网（CNKI）


加载耗时:155ms