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《科技视界》 2016年05期
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薄膜气敏元件的研制

潘英飞   开通知网号
【摘要】： 不同工艺薄膜气敏元件的灵敏度存在最佳灵敏度的膜厚詛*(1000魡~2000魡)差异;采用复合绝缘膜Si/Si O2/Al2O3衬底;采用薄膜的粉末溅射和研制薄膜气敏元件的工艺流程。

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