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《中国科学院院刊》 2025年05期
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自主创新驱动下的高端装备制造突围路径——以高端光刻机工件台研发与产业化为视角

朱煜   开通知网号
【摘要】： 文章围绕高端光刻机工件台的研发与产业化展开研究，深度剖析中国高端装备制造业的发展状况与核心挑战。研究发现，我国高端装备制造业虽有规模扩张与技术创新成果，但在核心技术自主可控方面存在不足，面临技术创新与基础能力的双重瓶颈。通过分析光刻机工件台的自主创新...

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