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《电子测试》 2022年24期
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金刚石半导体器件研究概述

杜昊临   李卓然   陈喆   开通知网号
【摘要】： 半个多世纪以来半导体基础材料经历了从锗、硅为代表的第一代，砷化镓、磷化铟为代表的第二代，碳化硅、氮化镓、氮化铝为代表的第三代的逐步演化。在演化过程中，更快响应，更高功率，更强稳定性始终是人们不断追求的目标。尽管现有半导体器件已经极大的推动了人类文明的...

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