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《微计算机信息》 2002年06期
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SMIF系统在集成电路制造中的应用

吴俊民,赵怡   开通知网号
【摘要】： 本文介绍的是一种全新概念的集成电路制造工艺环境实现方案,技术先进,实用性强,提高国产集成电路的成品率有非常重要的作用。

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