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《Chinese Physics Letters》 2013年12期
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High-Performance InTiZnO Thin-Film Transistors Deposited by Magnetron Sputtering

刘奥   刘国侠   单福凯   朱慧慧   B.C.Shin   W.J.Lee   C.R.Cho   开通知网号
【摘要】： InTiZnO thin-film transistors(ITZO TFTs)with Al_2O_3 gate dielectrics are fabricated by magnetron sputtering at room temperat...

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