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《新技术新工艺》 2005年04期
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Fe/Si_3N_4复合多层膜的制备及其电磁性能

杨长胜 ,程海峰 ,李永清   开通知网号
【摘要】: 多层膜结构隐身材料因其特有的结构具有非常好的吸波性能,在隐身领域有很大的应用前景。用磁控溅射方法制备了Fe/Si3 N4复合多层膜,利用SEM分析了其微观形貌,测试了其电磁参数,然后与传统吸波材料羰基铁粉比较了低频下的电磁参数。结果表明,Fe/Si3...

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