The high deposition of microcrystalline silicon thin film by very high frequency plasma enhanced chemical vapour deposition and the fabrication of solar cells

陈永生汪建华卢景霄郑文谷锦华杨仕娥郜小勇郭学军赵尚丽高哲开通知网号

【摘要】： This paper reports that the intrinsic microcrystalline silicon (μc-Si:H) films are prepared with plasma enhanced chemical vap...

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