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《半导体技术》 2014年11期
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3300 V-10 A SiC肖特基二极管

倪炜江   开通知网号
【摘要】: 利用一次离子注入同时形成有源区和结终端结构,实现3 300 V 4H-SiC肖特基二极管。器件的正向电压为1.7 V时,电流达到10.3 A,相应电流密度为100 A/cm2,比导通电阻为7.77 mΩ·cm2。在3 300 V反向偏置电压下反向漏电...

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