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《半导体技术》 2014年11期
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新型垂直腔面发射激光器的研制

冯源   刘国军   郝永芹   王勇   晏长岭   赵英杰   芦鹏   李洋   开通知网号
【摘要】: 热问题是制约垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)的关键难题之一。为改善垂直腔面发射激光器的热特性,提高输出功率,设计并制备了一种新型内腔接触式结构VCSEL。在出光孔径为16μm时,同时制备传统结构和新型结构两种器件并对其进行测试,传统结构VCSE...

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