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《集成电路应用》 2005年10期
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中芯:已进口65纳米设备明年量产

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【摘要】： <正> 当台湾半导体产业还在向当局力争开放0.18微米工艺在内地生产时,中芯国际CEO 24日在上海又公布了工艺研发新计划:中芯已经进口12寸晶圆厂65纳米工艺设备,并展开研发,希望明年底前可推出65纳米工艺。

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