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| 微纳电子技术 |
| Micronanoelectronic Technology |
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主办： 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 周期： 月刊 |
| 出版地：河北省石家庄市 |
| 语种： 中文; |
| 开本： 大16开 |
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| ISSN 1671-4776 |
| CN 13-1314/TN |
| 邮发代号 18-60 |
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| 曾用刊名：半导体情报 |
| 创刊年：1964 |
| ASPT来源刊 |
| 中文核心期刊(2008) |
| 中文核心期刊(2011) |
| 中文核心期刊(2014) |
| 中文核心期刊(2017) |
| 中国期刊网来源刊 |
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| 目录 |
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国家纳米科技指导协调委员会 首席科学家白春礼 |
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本刊编辑部 |
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纳米科技及其发展前景 |
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白春礼 |
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RF MEMS技术 |
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梁春广 |
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纳米半导体材料的制备技术 |
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王占国 |
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半导体异质结及其在电子和光电子中的应用——2000年诺贝尔物理奖评述 |
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陈良惠 |
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单电子器件 |
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赵正平,郭荣辉 |
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MEMS概况及发展趋势 |
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张威,张大成,王阳元 |
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纳米器件与单电子晶体管 |
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王太宏 |
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纳米硅二极管的独特性能 |
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何宇亮 |
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石英衬底上磁控溅射SiC膜退火形成SiC纳米线 |
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安霞,庄惠照,薛成山,杨利 |
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金属剥离与衬底腐蚀等平面自对准OHR技术研究 |
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闫桂珍,张大成,李婷,王颖 |
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x光纳米光刻掩模的离子束制备法 |
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韩勇,彭良强,巨新,伊福廷,张菊芳,吴自玉 |
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微米/纳米加工技术国家重点实验室 |
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重庆微系统(MEMS)科技股份有限公司——我国第一家MEMS专业投资管理公司 |
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征稿启事 |
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业界快讯 |
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